1.气相沉积：可工业化应用的气相沉积高分子材料。

2.复杂表面的完全敷型性：由于采用气相沉积工艺，气态的单体裂解成自由基后直接在固体表面聚合成固态的高分子薄膜，所以在涂敷材料表面上，无论形态多复杂，都能无孔不入，不会留下死角。

3.涂层薄：根据气态单体浓度和沉降聚合时间，可以得到均匀的可控厚度的涂敷薄膜，其厚度在2~3微米不等。

4.耐腐蚀：薄膜的组成是聚对二甲苯高分子材料，水、气透过率较低，可防水，防盐雾，耐酸碱，抗氧化。

5.绝缘性能：既有低的介质损耗和高的介电强度，又有高的机械强度和低的摩擦系数，适合大部分电子产品的应用。

6.其他：透明无应力，韧性强，摩擦系数低，不含助剂，不损伤工件，相比于尼龙或特氟龙涂敷工艺的低费用高效率等。