Parylene原料为粉末状材料，放在镀膜设备的蒸发炉里，通过真空在150摄氏度条件下，将固态原料升化为气态，再经过650-700摄氏度热解的条件下，将气态原料裂解成具有反应活性的单体。气态单体在室温下以纳米级的速度沉积并聚合，此沉积方式为CVD。

使用Parylene涂层的优点：
☆可以防潮防水，可达到IP68
☆可以抗酸碱腐蚀
☆可以抗溶解（在普通的溶剂中不会被溶解）
☆耐高温（使用温度高达140），抗严寒（零下200度）
☆具有无可相比的屏障效果（低气体渗透性）
☆可靠性强，具有较高的绝缘强度
☆涂层均匀一致，透明而且较薄
☆能涂覆到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里面
☆经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强