南京食道管支架耐腐蚀派瑞林镀膜加工

Parylene采用了一种*特的化学气相沉积工艺（CVD）。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长，整个过程是气态反应，又在真空条件下进行，因而可以获得非常均匀的涂层，达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。

Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
 Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

Parylene文物保护上的应用 
脆弱的文物、标本等可用派瑞林（Parylene）加固保护、延**命，被誉为可给考古界带来一场变革的新型文物保护材料，能解决其它材料不能解决的文物保护问题。
通过 Parylene真空涂敷，可使过火的纸张和书籍加固，防止进一步损坏。因为Parylene*特的能力可以涂敷纸张中的每根纤维。易破碎的人工制品可以被加固和检测以避免进一步的损坏。作为珍贵照片或图片的保护材料，parylene涂层可在不改变它们的外观的情况下，起到防蛀、防霉、防潮的作用，同时大大延长其寿命。

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