长沙微电子产品绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工

各种派瑞林材料应用优势
1：派瑞林N粉，属于无卤素材料，润滑性较好，适用于无卤素要求的产品。
2：派瑞林C粉，含有卤素氯，水汽阻隔效果，适用于防水要求高的产品。
3：派瑞林D粉，镀膜硬度较高，实际应用较少。
4：派瑞林F-VT4粉，相比较N&C&D, 具有耐高温、抗紫外的性能，适用于有耐高温、抗紫外要求的产品。
5派瑞林F-AF4粉，相比较其他所有的派瑞林材料，派瑞林F-AF4都具有优势，缺点就是价格（大于2万美金）太昂贵，难以用于市场。

Parylene不是液体，涂敷过程中不会形成气泡和桥接式弯月面，且膜层厚度可控，可在1-100um自由选择

聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物医学应用方面。

派瑞林镀膜工艺过程过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。
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