沈阳传感器绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工 多年经验

聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物应用方面。

聚对二甲苯使用Gorham工艺，可减少危害性物质的使用和产生。聚对二甲苯沉积避免了湿法涂料经常遇到的问题——微小表面开口的起脊和涂层过厚。沉积过程在特殊的真空室中进行，使聚对二甲苯以微米／单个分子的水平穿透表面上的开口在似乎是闭合的结构内部形成涂层。聚对二甲苯沉积可完全而有效地将装置的外部囊封于一层强性的保护性薄膜中。

派瑞林材料的应用：
Parylene镀膜技术广泛用于航空航天、电路板、LED、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、器械、珍贵文物等领域。
使用Parylene的好处:
1、可以抗酸碱腐蚀
2、可以抗溶解（在普通的溶剂中不会被溶解）
3、耐高温
4、具有无可比拟的屏障效果（低气体渗透性）
5、可靠性强，具有较高的绝缘强度
6、采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且较薄的膜层
7、能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝
8、经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强.

聚对二甲苯为医疗植入物提供了精密的保护性保形涂层，使得医疗植入物可以在具有挑战性的物理条件下实现特定的用途。其他性能特性增强了聚对二甲苯在手术植入和体内长期使用过程中的承受能力：
可靠的弹塑性测定性；
在体液存在时的功能稳定性；
**的生物相容性；
出色的疏水性。
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