常州芯片绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工

帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称。
它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质，可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性，无微孔无缺陷，化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂，产出的薄膜很纯净，释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料：C型、D型和N型，帕利灵C透水性和透气性比其他两种小很多，应用广泛。帕利灵C在温度300K时太赫兹频段的折射率大约为1.62，4.5K时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵C的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口的合适的抗反镀膜材料。

聚对二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis, IL)公司提供的标记聚对二甲苯基家族聚合物的一种化学名称，是初发明聚对二甲苯的UnionCarbide公司认可的命名。商业上存在一些聚对二甲苯的替代物，它们的成分和聚对二甲苯一致，只是在合成路径上因初始二聚体(对二二聚物)而有不同。然而，Spe-cialtyCoatingSystems版本是当前被美国食品及药物(FDA)所批准的版本。聚对二甲苯是一种USP(United States Pharmacopeia,美国药典)VI族材料，适合长期植入人体，所以是在医疗产业历史上十分**的生物相容涂层材料。可以从很多方面检查其生物相容性，它的生物稳定性、低细胞毒性和抗水解性是其在医疗产业被广泛应用的关键属性。

聚对二甲苯是通过活性单体气相沉积聚合而制备的,单体的气相沉积与膜的形成几乎同时进行,不存在液相过渡态。
　　因在室温下成膜,这样就使得被涂件免受表面张力引起的变形危害,并且聚合物膜能在固体表面(包括锐角、裂隙和内孔表面)均匀地形成,而且较薄又无针孔,具有透明性、良好的气密性、力学性能、电学性能和化学惰性等。与常见的涂层材料相比(如环氧树脂和聚氨酯等),聚对二甲苯在力学性能、电性能和化学惰性等方面优于其它常见的涂层材料。

派瑞林镀膜工艺过程过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。