派珂纳米派瑞林镀膜加工的**产品主要涉及:
1、计算机
2、电子电路
3、导航设备
4、雷达装置
5、先进航空电子/飞行制导系统
6、武器与领域
7、定向系统
Parylene满足 MIL-I-46058C, 军规 70-71, NAV.INST. 3400.2,和 USAF-80-3,涂敷拥有优越的化学、湿气屏蔽性能和介电绝缘性能
Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene采用了一种*特的化学气相沉积工艺(CVD)。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长,整个过程是气态反应,又在真空条件下进行,因而可以获得非常均匀的涂层,达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步:
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下,将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下,气态单体在基体上生长聚合。
Parylene在LED上的应用
LED显示屏和灯条广泛应用于交通道路、户外广场、机场等潮湿恶劣环境中,势必要对LED产品的防护等级有了更高的要求。派瑞林涂层与传统的灌胶方式相比,膜层更薄且均匀、散热性更好、不易龟裂、符合国际环保要求、且可达到国际规范的IP55-IP68的防尘防水要求,因此近年来派瑞林涂层广泛应用于LED产品的防护上,使其具有更好的防潮、防水、耐酸碱、耐腐蚀等功能。