Parylene F的成膜原理
与其它Parylene原料类似,Parylene F薄膜的制备需在的真空涂覆设备上进行,设备主要由升华炉、裂解炉、沉积腔室、冷阱和真空系统几部分组成。成膜过程也包括如下3个步骤:
(1)固体环二体在一定温度下升华为气态环二体;
(2)在较高温度下气态环二体裂解为活性单体自由基;
(3)单体自由基进入沉积腔室后,在基体表面沉积聚合形成均匀无针孔并与物体形状一致的Parylene F薄
派瑞林F粉即Parylene F粉,(派瑞林F二聚体,八氟对二二聚体)CAS: 1785-64-4, MF:C16H8F8, MW: 352.22, 是含氟的高分子涂层材料.膜层具有高通透性,厚度均匀,耐酸碱, 介电特性好,光电和医疗器械等领域都有着广泛的应用。ParyleneF是苯环上的4个H原子被F取代,ParyleneF拥有ParyleneHT的耐紫外线,耐高温等优势。
Parylene N,聚对二甲苯。将二甲基中的一个氢原子用一个氯原子所取代,就得到Parylene C;将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代,就得到Parylene D;苯环上的4个氢原子被氟取代,即可得Parylene F;而将二甲基上的H原子替换为F原子,就得到HT型Parylene。
派瑞林parylene F粉的阻隔性为35g/m2.day