聚对二甲苯是一系列具有多晶线性性质的**聚合涂层材料的类署名,具有很好的单位厚度绝缘性,并具有化学惰性。聚对二甲苯的种类很多,全都*填充剂、稳定剂、催化剂和塑化剂。
因此,这些材料不会出现津析、排气或萃取问题,由于聚对二甲苯能气相沉积,它可涂覆于较细微的空间和空隙,由于其分子级聚合作用,即一次一个分子附着于沉积表面,聚对二甲苯涂层**薄,不会形成气孔,并能敷形涂覆在元件上。聚对二甲苯还能满足微小尺寸和较轻重量的装置要求,任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。聚对二甲苯不会显著增加质量,这对微型植入装置来说是非常重要的优势。
聚对二甲苯(Poly-p-xylene),商品名帕里纶(Parylene),是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲撑苯撑结构的聚合物薄膜的统称,它有较其优良的电性能、耐热性、耐候性和化学稳定性
聚对二甲苯涂层材料主要有 Parylene N(聚对二甲苯)、Parylene C(聚一氯对二)和 Parylene D(聚二氯对二)三种。它是采用真空热解气相堆积工艺制备,可制成较薄的薄膜,主要用作薄膜和涂层,用于电子元器件的电绝缘介质、保护性涂料和包封材料等。
聚对二甲苯涂层在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质,可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性,无微孔无缺陷,化学性质不活泼等优良特性。