南通钐钴防锈派瑞林镀膜加工 parylene镀膜加工

Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

Parylene在硅/橡胶密封件产品上的应用
各类密封件在使用中可能遇到各种不同的环境，为更好的适应各种恶劣环境，防止硅橡胶老化，延长密封圈的寿命，需对密封件在能起到密封阻隔的同时，还必须有耐腐蚀、耐摩擦等性能。经Parylene涂敷后，在密封圈表面形成一层薄而均匀的膜，该膜层具有优越的屏障特性、光学性能、热性能以及良好的抗磨擦能力，能满足在恶劣环境中的使用，从而大大增加了使用寿命。另外，由于膜层很薄（2-3um），镀膜后不影响产品原有的柔韧性和轮廓尺寸，是密封圈涂敷防护的理想方式。

Parylene采用了一种*特的化学气相沉积工艺（CVD）。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长，整个过程是气态反应，又在真空条件下进行，因而可以获得非常均匀的涂层，达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。

为什么选择派瑞林
 更好的防潮防水防尘效果，可达IP68的级别
 抗酸碱和**溶剂的腐蚀，耐盐雾（无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐 酸10天以上不 腐蚀）
 可靠性强，具有较高的绝缘性能（5um可耐1000V以上直流击穿电压，22um可耐3500V交流电压）
 耐高低温（-200—450℃）
 气体渗透性低，具有无可比拟的屏障效果
 能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边、裂缝、SMD器件底部 缝隙，增加了元器件的强度。
 满足生物相容性，符合FDA（VI）
 具有优良的干润滑性
 光学透明，透光率大于95%
 防蛀防霉，用于历史文物和书籍画卷的保护
Parylene不是液体，涂敷过程中