重庆电子产品绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工

派瑞林镀膜工艺过程过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。

帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称。
它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质，可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性，无微孔无缺陷，化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂，产出的薄膜很纯净，释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料：C型、D型和N型，帕利灵C透水性和透气性比其他两种小很多，应用广泛。帕利灵C在温度300K时太赫兹频段的折射率大约为1.62，4.5K时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵C的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口的合适的抗反镀膜材料。

聚对二甲苯使用Gorham工艺，可减少危害性物质的使用和产生。聚对二甲苯沉积避免了湿法涂料经常遇到的问题——微小表面开口的起脊和涂层过厚。沉积过程在特殊的真空室中进行，使聚对二甲苯以微米／单个分子的水平穿透表面上的开口在似乎是闭合的结构内部形成涂层。聚对二甲苯沉积可完全而有效地将装置的外部囊封于一层强性的保护性薄膜中。

派瑞林材料的应用：
Parylene镀膜技术广泛用于航空航天、电路板、LED、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、器械、珍贵文物等领域。
使用Parylene的好处:
1、可以抗酸碱腐蚀
2、可以抗溶解（在普通的溶剂中不会被溶解）
3、耐高温
4、具有无可比拟的屏障效果（低气体渗透性）
5、可靠性强，具有较高的绝缘强度
6、采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且较薄的膜层
7、能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝
8、经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强.
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