大连微电子产品绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工 聚对二甲苯涂层

帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称。
它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质，可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性，无微孔无缺陷，化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂，产出的薄膜很纯净，释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料：C型、D型和N型，帕利灵C透水性和透气性比其他两种小很多，应用广泛。帕利灵C在温度300K时太赫兹频段的折射率大约为1.62，4.5K时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵C的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口的合适的抗反镀膜材料。

聚对二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis, IL)公司提供的标记聚对二甲苯基家族聚合物的一种化学名称，是初发明聚对二甲苯的UnionCarbide公司认可的命名。商业上存在一些聚对二甲苯的替代物，它们的成分和聚对二甲苯一致，只是在合成路径上因初始二聚体(对二二聚物)而有不同。然而，Spe-cialtyCoatingSystems版本是当前被美国食品及药物(FDA)所批准的版本。聚对二甲苯是一种USP(United States Pharmacopeia,美国药典)VI族材料，适合长期植入人体，所以是在产业历史上十分**的生物相容涂层材料。可以从很多方面检查其生物相容性，它的生物稳定性、低细胞毒性和抗水解性是其在产业被广泛应用的关键属性。

各种派瑞林材料应用优势
1：派瑞林N粉，属于无卤素材料，润滑性较好，适用于无卤素要求的产品。
2：派瑞林C粉，含有卤素氯，水汽阻隔效果，适用于防水要求高的产品。
3：派瑞林D粉，镀膜硬度较高，实际应用较少。
4：派瑞林F-VT4粉，相比较N&C&D, 具有耐高温、抗紫外的性能，适用于有耐高温、抗紫外要求的产品。
5派瑞林F-AF4粉，相比较其他所有的派瑞林材料，派瑞林F-AF4都具有优势，缺点就是价格（大于2万美金）太昂贵，难以用于市场。

随着物联网成为现实，各类传感器应用也越来越广泛，如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等，且用于各种复杂环境和较端环境中。用于这些恶劣环境中的传感器，无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象，大大影响其正常工作，缩短使用寿命。派瑞林涂层作为一种高分子复合材料，以其优异的性能和防护级别，成为各类传感器防护材料的，发挥着重大作用
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