长沙铁氧体磁材绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工 帕利灵涂层 工艺稳定

聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物应用方面。

聚对二甲苯使用Gorham工艺，可减少危害性物质的使用和产生。聚对二甲苯沉积避免了湿法涂料经常遇到的问题——微小表面开口的起脊和涂层过厚。沉积过程在特殊的真空室中进行，使聚对二甲苯以微米／单个分子的水平穿透表面上的开口在似乎是闭合的结构内部形成涂层。聚对二甲苯沉积可完全而有效地将装置的外部囊封于一层强性的保护性薄膜中。

帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称。
它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质，可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性，无微孔无缺陷，化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂，产出的薄膜很纯净，释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料：C型、D型和N型，帕利灵C透水性和透气性比其他两种小很多，应用广泛。帕利灵C在温度300K时太赫兹频段的折射率大约为1.62，4.5K时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵C的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口的合适的抗反镀膜材料。

派瑞林镀膜的保护作用
1、抗酸碱腐蚀，能解决受酸性或碱性物质腐蚀的问题。
2、低水、气体渗透性、具高屏障效果，能达到防潮、防水、防锈及减缓风化等作用。
3、耐(不溶解于一般溶剂)。
4、膜层无色、具高透明度，不影响产品原本外观。
5、 膜层具防尘、防潮、防水的耐透气性效果，可使产品达到国际性防尘、防水的IP等级规范。
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