上海磁性材料绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工 帕里纶涂层

聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物应用方面。

聚对二甲苯是通过活性单体气相沉积聚合而制备的,单体的气相沉积与膜的形成几乎同时进行,不存在液相过渡态。
　　因在室温下成膜,这样就使得被涂件免受表面张力引起的变形危害,并且聚合物膜能在固体表面(包括锐角、裂隙和内孔表面)均匀地形成,而且较薄又无针孔,具有透明性、良好的气密性、力学性能、电学性能和化学惰性等。与常见的涂层材料相比(如环氧树脂和聚氨酯等),聚对二甲苯在力学性能、电性能和化学惰性等方面优于其它常见的涂层材料。

派瑞林镀膜工艺过程过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。

派瑞林材料的应用：
Parylene镀膜技术广泛用于航空**、电路板、LED、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、器械、珍贵文物等领域。
使用Parylene的好处:
1、可以抗酸碱腐蚀
2、可以抗溶解（在普通的溶剂中不会被溶解）
3、耐高温
4、具有无可比拟的屏障效果（低气体渗透性）
5、可靠性强，具有较高的绝缘强度
6、采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且较薄的膜层
7、能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝
8、经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强.
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